超精密位置決めのための超音波モータを用いた摩擦駆動の研究
摩擦による駆動システムが高精度機械と精密加工領域を切り開く
世界初の超音波モータ(USM:Ultra Sonic Motor)を用いた摩擦駆動による超精密位置決めステージを開発している． 従来の電磁モータ駆動型ステージと比較し1/2の小型化，3倍の高精度化を実現している． その成功の鍵は，摩擦駆動部での摩耗制御にある． 本研究では，摩擦部に優れた耐摩耗性を有するセラミックスを導入し， その摩耗制御のための機器設計，駆動のためのソフト設計の構築を目指している．
現在研究中のテーマ(2007年度)
- 高速・超精密位置決めステージのための直動型超音波モータの開発 (M2 村上 瑞真)
- 摩擦面電位制御による弾性表面波モータの耐久性向上に関する研究 (M1 千葉 義直)